產(chǎn)品簡介
SuperView W1系列納米級白光干涉三維形貌儀以0.1nm級分辨率、8μm/s掃描速度、300+種標(biāo)準(zhǔn)參數(shù),一站式解決超精密測量精度不足、多材質(zhì)適配難、批量檢測效率低等測量難題。應(yīng)用覆蓋半導(dǎo)體、3C電子等多行業(yè)場景,數(shù)據(jù)驅(qū)動檢測,賦能精密制造升級。
中圖儀器SuperView W1系列納米級白光干涉三維形貌儀以0.1nm級分辨率、8μm/s掃描速度、300+種標(biāo)準(zhǔn)參數(shù),一站式解決超精密測量精度不足、多材質(zhì)適配難、批量檢測效率低等測量難題。應(yīng)用覆蓋半導(dǎo)體、3C電子等多行業(yè)場景,數(shù)據(jù)驅(qū)動檢測,賦能精密制造升級。

1.精度硬核可量化:形貌重復(fù)性低至0.1nm,粗糙度RMS重復(fù)性0.005nm,臺階測量準(zhǔn)確度僅0.3%,遠(yuǎn)超行業(yè)平均水平;搭配氣浮隔振底座與0.1nm分辨率環(huán)境噪聲評價,復(fù)雜車間環(huán)境也能穩(wěn)定輸出精準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
2.效率翻倍降成本:W1-Ultra型號0.1nm分辨率下掃描速度達(dá)8μm/s,單區(qū)域測量一鍵完成,批量樣品可通過陣列式多區(qū)域測量+編程預(yù)設(shè)流程,實現(xiàn)“無需值守"自動化檢測,某3C電子企業(yè)應(yīng)用后,日均檢測量從200件提升至500件。
3.全場景適配無壓力:單一掃描模式覆蓋超光滑到粗糙、全透明到黑色材質(zhì),支持10mm Z向掃描范圍與數(shù)千張圖像無縫拼接,某半導(dǎo)體廠商用其檢測研磨減薄工件,成功解決“大范圍掃描+高精度要求"雙重難題。
4.軟件生態(tài)強適配:自研Xtremevision Pro平臺支持多機型自動識別,白光干涉與共聚焦模式自由切換,300+種ISO/ASME/EUR/GBT標(biāo)準(zhǔn)參數(shù),滿足不同行業(yè)檢測合規(guī)要求。
1.半導(dǎo)體制造:為某頭部半導(dǎo)體企業(yè)提供研磨減薄工藝檢測方案,精準(zhǔn)測量硅晶片表面粗糙度(Sa=0.2nm)與槽道形貌,連續(xù)10次測量STR重復(fù)性穩(wěn)定在0.1nm,助力工藝良率提升8%。
2.3C電子:適配手機玻璃屏粗糙度檢測、金屬殼模具瑕疵識別、油墨屏高度差測量,某手機代工廠應(yīng)用后,批量檢測效率提升60%,報表自動導(dǎo)出(Word/Excel/PDF)滿足質(zhì)檢存檔需求。
3.光學(xué)加工:針對納米臺階、光學(xué)元件粗糙度測量,實現(xiàn)916.5nm臺階高度精準(zhǔn)量化,某光學(xué)廠商反饋“測量數(shù)據(jù)與國際標(biāo)準(zhǔn)樣塊偏差<0.1%",大幅降低產(chǎn)品返工率。
4.汽車零部件:檢測精密齒輪表面磨損、軸承孔隙間隙,在車間振動環(huán)境下仍保持?jǐn)?shù)據(jù)穩(wěn)定,某車企通過批量分析功能,將零部件質(zhì)檢周期從2小時縮短至30分鐘。

1.自動化測量:操縱桿便捷操控,Mark點自動定位校正,單/多區(qū)域一鍵掃描分析。
2.數(shù)據(jù)處理:去噪、濾波等四大模塊+五大分析功能,支持定制化模板批量處理。
3.安全保障:雙重鏡頭防撞+光源自動熄燈設(shè)計,設(shè)備損耗率降低40%。
4.靈活配置:10×干涉物鏡(可選2.5×-100×),320×200mm載物臺適配不同尺寸工件。
1.交貨期:合同生效后30天內(nèi)免費送貨上門,現(xiàn)場安裝調(diào)試。
2.質(zhì)保服務(wù):驗收后1年質(zhì)保,故障2小時內(nèi)響應(yīng),72小時上門維修。
3.增值支持:免費技術(shù)培訓(xùn),質(zhì)保期后成本價提供備件與維護(hù)服務(wù)。

SuperView W1系列納米級白光干涉三維形貌儀用數(shù)據(jù)、案例、服務(wù)三重保障,為精密制造、科研檢測等領(lǐng)域提供高精度+高效率+高適配的3D表面測量解決方案。如需獲取行業(yè)定制化方案、產(chǎn)品演示視頻或免費樣品測試,歡迎聯(lián)系中圖儀器。
懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。
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