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CEM3000系列國內高分辨力臺式掃描電鏡在工業領域具有廣泛的應用價值。它用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析，標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實現微觀的形貌和元素分析等。

中圖儀器鎢燈絲高分辨率掃描電鏡（CEM3000系列）SE模式下分辨率優于4nm (@20kV)，最高20萬倍放大。無論是60nm銀線還是晶粒結構，細節分毫畢現。低真空模式抽氣僅需40秒，高真空模式1.5分鐘，較傳統電鏡效率提升60%以上。

VT6000共聚焦表面粗糙度多功能測量顯微鏡主要應用于半導體、光學膜材、顯示行業、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數的檢測中。

NS系列沉積薄膜高度臺階儀能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

CEM3000臺式掃描電鏡快速抽放氣設計+低真空模式（可選配），一鍵出片+自動調節功能，無需專業運維團隊，普通員工即可快速上手，降低人力培訓成本，高效獲取高質量成像。

VT6000共聚焦光學類測量顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。